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HP-03

HP-03专为高密度等离子体系统和扩散工艺研发，这类应用场景对密封可靠性和极低污染要求极高。该材料不仅具备优异的化学相容性，更能耐受多种腐蚀性化学品的侵蚀。产品提供多种几何形状和截面规格，完美适配动态或静态干法加工的多样化需求。特别适用于狭缝阀的HP-03，在工作温度高达270°C且不承受高密封载荷的工况下，仍能保持稳定性能。

物理性能	HP03
颜色	白色
材质	FFKM
硬度 ASTM D2240	80
拉伸强度 ASTM D412	19.6
100%定伸应力 ASTM D412	6.8
断裂伸长率 ASTM D412	230%
压缩永久变形 ASTM D395	25%
使用温度	-10℃-270℃

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产品详情

性能参数

表二、耐等离子系列物理性能参数

物理性能	HP03
颜色	白色
材质	FFKM
硬度 ASTM D2240	80
拉伸强度 ASTM D412	19.6
100%定伸应力 ASTM D412	6.8
断裂伸长率 ASTM D412	230%
压缩永久变形 ASTM D395	25%
使用温度	-10℃-270℃

图五：我司耐等离子系列产品横截面SEM图同竞对产品对比

　　我司耐等离子系列产品专为半导体行业而设计, 旨在为矿物填充全氟橡胶提供一种替代材料。其中HT02/04耐等离子系列产品中的耐温产品，最高耐温可达300℃。

性能特点

高纯度（可提取物含量低）
高氧和氟等离子体抗性
颗粒生成极低
低气体逸出
低摩擦
高耐磨性
优异的机械性能和密封性能

分子级稳定性

采用特殊优化的全氟醚橡胶（FFKM）或先进复合材料，其分子链结构具有极高的键能，能有效抵抗高能离子和紫外线的轰击，极大延缓粉化、发脆、龟裂的过程。

表面完整性

即使在长时间、高功率的等离子体暴露后，产品表面仍能保持光滑，有效减少因表面劣化而产生的颗粒物（Particles），保障镀膜质量与刻蚀精度。

预析出处理

通过先进的预处理工艺，提前析出并去除产品内部可能残留的低分子量物质，从源头杜绝在真空和等离子环境下的可凝析物（Outgassing）析出。

保护薄膜生长

极低的析出率避免了在关键的CVD/PVD工艺中，污染源沉积在晶圆表面形成缺陷，从而保障薄膜的均匀性、附着力和电学特性，直接提升产品良率。

寿命倍增

其卓越的抗老化能力，使密封件寿命数倍于普通产品，能够完美匹配甚至超越设备制造商（OEM）推荐的预防性维护（PM）周期。

降本增效

大幅减少因密封件更换导致的设备停机时间，降低备件消耗与人力成本，同时减少因颗粒污染导致的计划外清腔（Unscheduled Cleaning），显著提升设备稼动率和生产效率。

常见问题

全氟醚橡胶和氟橡胶、氟硅橡胶三者有什么区别？

全氟醚橡胶、氟橡胶和氟硅橡胶都是高性能的密封材料，但各有特点。全氟醚橡胶具有卓越的耐化学性和耐高温性能，能承受极端化学环境和高温，适用于高要求的工业场景。氟橡胶则在耐油性、耐热性和耐候性方面表现出色，广泛应用于汽车、航空航天等领域。氟硅橡胶结合了氟橡胶的耐化学性和硅橡胶的耐高低温性能，适合需要兼顾耐高低温和耐化学性的场合。三者在化学结构、性能和应用场景上各有侧重，选择时需根据具体需求来确定。

如果提供样品或者图纸是否可以逆向开发？

可以。我们具备专业的研发团队和先进的设备，能够根据您提供的样品或图纸进行逆向开发。我们会对样品进行详细分析，包括材料成分、结构尺寸等，然后结合您的需求进行设计和优化，开发出符合您要求的产品。同时，我们会严格遵守保密协议，确保您的样品和图纸信息安全。

我们如何保证质量？

我们从原材料采购、生产过程到成品检验，都有严格的质量控制体系。原材料均来自优质供应商，并经过严格检测。生产过程中，采用先进的生产设备和工艺，每一道工序都有严格的操作规范和质量监控。成品经过严格检验，确保符合相关标准和客户要求。此外，我们还定期进行内部质量审核和培训，不断提升质量管理水平。

为什么优先选择我们？

我们拥有多年氟橡胶密封件生产经验，产品种类丰富，产品已在多个行业中成功交付，结合实绩经验更能满足不同客户的需求。我们注重产品质量，从原材料采购到成品检验，都有严格的质量控制。我们提供定制化服务，能根据客户要求开发产品。我们有完善的售后服务，能及时解决客户问题。选择我们，您将获得高品质的产品和优质的服务。

产品交期怎么样，后续提供什么服务？

现货产品：当天中午12时前提交订单，当天出货；12时后提交，次日出货。无现货需生产的，货期7 - 15天。周六、周日及法定节假日不计入天数。
出货地址在浙江省嘉兴市。发票满500开票，每月25日截止，电子发票推送，不提供纸质发票，确认收货后开具。售后服务联系销售经理。因密封件易损且无标识，无质量问题不接受退换货。中国大陆使用顺丰速运、跨越快递配送，满1000元免运费，不足则运费到付。

付款方式如何？

付款方式为转账或电汇，现款现货，不接受承兑等其他方式。汇款完成后需提供汇款凭证。我们提醒您防范诈骗，若接到假冒客服或银行人员电话要求订单金额分期付款、扣款失败、更改结账方式等名义提供账户、信用卡资料或操作ATM转账汇款的，要提高警觉。

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